1. د پروسس کولو دمخه، هر پروګرام باید په کلکه تایید کړي چې آیا وسیله د پروګرام سره مطابقت لري.
2. کله چې وسیله نصب کړئ، تایید کړئ چې آیا د وسیلې اوږدوالی او د ټاکل شوي وسیلې سر مناسب دی.
3. د ماشین عملیاتو پرمهال دروازه مه خلاصوئ ترڅو د الوتنې چاقو یا د الوتنې ورک پیس څخه مخنیوی وشي.
4. که د ماشین کولو په وخت کې یوه وسیله وموندل شي، آپریټر باید سمدستي ودروي، د بیلګې په توګه، د "بیړني تمځای" تڼۍ یا د "ری سیٹ تڼۍ" تڼۍ فشار کړئ یا د "فیډ سرعت" صفر ته وټاکئ.
5. په ورته ورک پیس کې ، د ورته ورک پیس ورته ساحه باید وساتل شي ترڅو د CNC ماشین کولو مرکز عملیاتي قواعدو دقت ډاډ ترلاسه شي کله چې وسیله وصل وي.
6. که چیرې د ماشین کولو په جریان کې ډیر ماشین الاؤنس وموندل شي، "واحد برخه" یا "پاز" باید د X، Y او Z ارزښتونو پاکولو لپاره وکارول شي، او بیا په لاسي توګه مل کول، او بیا بیرته صفر ته اجازه ورکوي چې دا پخپله پرمخ بوځي.
7. د عملیاتو په جریان کې، آپریټر باید ماشین پریږدي یا په منظم ډول د ماشین چلولو حالت وګوري.که چیرې دا اړینه وي چې په مینځ کې پریښودل شي، اړونده پرسونل باید د تفتیش لپاره وګمارل شي.
8. د سپک چاقو د سپری کولو دمخه، د ماشین په وسیله کې د المونیم سلیګ باید پاک شي ترڅو د تیلو جذبولو څخه د المونیم سلیګ مخه ونیسي.
9. هڅه وکړئ چې د خراب ماشین کولو پرمهال هوا سره ووهئ، او د سپک چاقو په پروګرام کې تیل سپری کړئ.
10. وروسته له دې چې د کار پیس له ماشین څخه پورته شي، دا باید په وخت سره پاک او له مینځه یوړل شي.
11. کله چې د دندې څخه لرې وي، آپریټر باید کار په وخت او دقیق ډول وسپاري ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې راتلونکی پروسس په نورمال ډول ترسره کیدی شي.
12. ډاډ ترلاسه کړئ چې د وسیلې مجله په اصلي موقعیت کې ده او د ماشین بندولو دمخه د XYZ محور د مرکز موقعیت کې ودرول شوی ، او بیا د ماشین عملیاتي پینل کې د بریښنا رسولو او اصلي بریښنا رسولو بند کړئ.
13. د طوفان په صورت کې، بریښنا باید سمدستي بنده شي او کار باید ودرول شي.
د دقیق برخو پروسس کولو میتود ځانګړتیا دا ده چې د سطحي موادو مقدار کنټرول کړئ یا په خورا ښه ډول اضافه کړئ.په هرصورت ، د دقیق برخو پروسس کولو دقیقیت ترلاسه کولو لپاره ، موږ لاهم د دقیق پروسس کولو تجهیزاتو او دقیق محدودیت سیسټم باندې تکیه کوو ، او د منځګړی په توګه د الټرا دقیق ماسک اخلو.
د مثال په توګه، د VLSI د پلیټ جوړولو لپاره، په ماسک کې فوتوریزیسټ (فوټوولیتوګرافي وګورئ) د الکترون بیم په واسطه افشا کیږي، نو د فوتوریزیسټ اتومونه د الکترون تر اغیز لاندې مستقیم پولیمیریز شوي (یا تخریب شوي) دي، او بیا پولیمر شوي یا غیر پولیمر شوي برخې د ماسک جوړولو لپاره د پراختیا کونکي سره منحل کیږي.د میسا موقعیت دقت اړین دی چې د μM الټرا دقیق پروسس کولو تجهیزاتو جوړولو لپاره د الکترون بیم افشا کولو پلیټ لپاره ± 0.01 وي.
د الټرا دقیق برخې قطع کول
پدې کې په عمده ډول د الټرا دقیق بدلول ، د عکس پیس کول او پیس کول شامل دي.مایکرو ټرننګ په الټرا دقیق لیت کې د پاک پالش شوي واحد کرسټال الماس بدلولو وسیلو سره ترسره کیږي.د پرې کولو ضخامت یوازې 1 مایکرون دی.دا معمولا د لوړ دقیقیت او ظاهري سره د غیر فیرس فلزي موادو کروی ، اسفریکل او الوتکې عکسونو پروسس کولو لپاره کارول کیږي.ترکیب.د مثال په توګه، د اټومي فیوژن وسیلو پروسس کولو لپاره د 800 ملي میتر قطر سره یو اسفریکل عکس د 0.1 μm اعظمي دقیقیت لري.ظاهري خړوالی 0.05 μm دی.
د الټرا دقیق برخو ځانګړي ماشین کول
د الټرا دقیق برخو ماشین کولو دقیقیت د نانومیټر کچه ده.حتی که اټومي واحد (د اټومي جال فاصله 0.1-0.2nm وي) د هدف په توګه په پام کې ونیول شي، دا نشي کولی د الټرا دقیق پرزو د پرې کولو میتود سره تطابق وکړي.دا د ځانګړي دقیق برخو پروسس کولو میتود کارولو ته اړتیا لري ، د بیلګې په توګه پلي کیمیا.
انرژی، الیکټرو کیمیکل انرژی، حرارتی انرژی یا برقی انرژی کولی شی انرژی د اتومونو تر مینځ د اړیکو انرژی څخه ډیر شی، نو د ورک پیس د ځینو خارجی برخو تر مینځ د چپکولو، بندولو یا جالی خرابوالی له منځه یوسی، او د الټرا دقیق ماشین کولو هدف ترلاسه کول دا پروسې. د میخانیکی کیمیکل پالش کول، د آئن سپټرینګ او د آئن امپلانټیشن، د الکترون بیم لیتوګرافی، د لیزر بیم پروسس کول، د فلزي تبخیر او مالیکول بیم اپیټیکسي شامل دي.
د پوسټ وخت: جون-03-2019
